WF6 batez ere tungsteno metalikoaren lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) prozesurako lehengai gisa erabiltzen da elektronika-industrian. WF6-tik egindako WSi2 zirkuitu integratu handietan (LSI) kableatu-material gisa erabil daiteke, eta baita erdieroaleen elektrodoetarako, agente kimikoetarako fluor-lehengaietarako, polimerizazio-katalizatzaileetarako, material optikoetarako eta abarretarako lehengai gisa ere.